电容器是一种能够储存电荷的无源电子元件。电容器由两个称为电极的导电表面组成,这两个电极通常彼此非常接近。 电极之间存在电绝缘介质 ——最简单的情况下是空气。电容器的特征由其电容决定,该参数表示在施加特定电压时能够储存多少电荷。电极所能承受的最大电压以及电容器所能处理的最大射频(RF)电流也是需要关注的参数。
某些应用,例如短波发射机中的无线电波生成,需要电容器具备极高的介电强度 以及承受极高电流的能力。此外,这些发射机中使用的电容器必须能够调节其电容值。原则上,只有 真空电容 才能满足这些特性。由于真空的绝缘性能远优于空气,因此真空电容 被广泛应用。真空电容器( )的电极通常呈同心环或螺旋状,彼此相互嵌套。通过改变嵌套深度,可以调节电容值。
电容器的应用领域及其相应设计形式非常多样。它们既可用于大功率广播电台中对谐振电路和天线进行调谐,也可应用于医疗和科研领域的射频应用,例如磁共振成像(MRI)或粒子加速器。Comet 主要将其应用于半导体行业等离子体应用中的射频匹配网络,这些电容器以其卓越的质量和长久的使用寿命而广受赞誉。
真空电容 在半导体行业
在半导体行业的许多镀膜 和蚀刻工艺中,都会使用由高频能量点燃并维持的等离子体。由于射频 发生器与等离子体的系统阻抗不一致,因此必须进行阻抗匹配,以便将射频发生器的能量尽可能多地传输到等离子体中。为此,射频匹配网络(也称为“匹配器”)会调整 等离子体腔室 ,使其与射频系统的阻抗相匹配。通过这种方式,我们可以确保由 射频电源所产生的工艺功率能够输送至等离子体工艺。
在过去的几十年里,Comet 凭借卓越的品质、出色的客户导向以及最可靠的供货服务,在真空电容器领域确立了非常稳固的市场地位。半导体行业中最先进的设备均采用Comet 的电容器。这得益于Comet在高频工程和制造技术方面久经考验的专业能力。