Ein Kondensator ist ein passives elektrisches Bauelement, das elektrische Ladungen speichern kann. Er besteht aus zwei leitfähigen Flächen, den sogenannten Elektroden, die in der Regel sehr nah beieinander angeordnet sind. Zwischen den Elektroden befindet sich ein elektrisch isolierendes Medium – im einfachsten Fall Luft. Der Kondensator zeichnet sich durch seine Kapazität aus, die angibt, wie viel elektrische Ladung bei einer bestimmten angelegten Spannung gespeichert werden kann. Von Interesse sind zudem die maximale Spannung, die an den Elektroden anliegen darf, sowie der maximale Hochfrequenzstrom (HF-Strom), den der Kondensator verträgt.
Einige Anwendungen, wie etwa die Erzeugung von Radiowellen in Kurzwellensendern, erfordern Kondensatoren mit sehr hoher Durchschlagsfestigkeit und der Fähigkeit, extrem hohen Strömen standzuhalten. Darüber hinaus müssen die in diesen Sendern verwendeten Vakuumkondensatoren in ihrer Kapazität einstellbar sein. Prinzipiell können nur Vakuumkondensatoren diese Eigenschaften erfüllen. Aufgrund der im Vergleich zu Luft wesentlich besseren Isolationseigenschaften kommen sie sehr häufig zum Einsatz. Die Elektroden von Vakuumkondensatoren sind typischerweise als konzentrische Ringe oder Spiralen ausgeführt, die ineinandergreifen. Die Kapazität lässt sich durch die Veränderung der Eintauchtiefe variieren.
Die Anwendungsbereiche und die entsprechenden Bauformen von Kondensatoren sind äußerst vielfältig. Sie werden in Hochleistungssendern zur Abstimmung von Schwingkreisen und Antennen eingesetzt oder in medizinischen und wissenschaftlichen RF-Anwendungen wie MRT-Geräten oder Teilchenbeschleunigern. Comet setzt sie vor allem in RF-Matching-Netzwerken für Plasma-Anwendungen in der Halbleiterindustrie ein, wo sie für ihre Qualität und Langlebigkeit bekannt sind.
Vakuumkondensatoren in der Halbleiterindustrie
Bei vielen Beschichtungs- und Ätzprozessen in der Halbleiterindustrie wird ein Plasma eingesetzt, das durch Hochfrequenzenergie gezündet und aufrechtchterhalten wird. Da die Systemimpedanz des RF-Generators und des Plasmas nicht übereinstimmen, müssen die unterschiedlichen Impedanzen angepasst werden, um möglichst viel Energie des Generators auf das Plasma zu übertragen. Zu diesem Zweck gleichen RF-Matching-Netzwerke (auch als Matchboxen bezeichnet) die dynamische RF-Impedanz einer Plasmakammer an die Impedanz des RF-Systems an. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass die vom RF-Generator bereitgestellte Prozessleistung in den Plasmaprozess eingespeist werden kann.
In den vergangenen Jahrzehnten hat sich Comet dank überlegener Qualität, außergewöhnlicher Kundenorientierung und zuverlässigster Lieferservices eine starke Marktposition im Bereich der Vakuumkondensatoren erarbeitet. Die fortschrittlichsten Anlagen der Halbleiterindustrie nutzen Kondensatoren von Comet. Dies ist auf die bewährte Kompetenz von Comet in der Hochfrequenztechnik und Fertigungstechnologie zurückzuführen.