分辨率，但要更高一些

分辨率提升

通过提高FXE-160 Nano CT模块的极限分辨率，该设备在使用高功率靶时，现已能够达到0.7 µm的分辨率。图1展示了一张标准掩模样品的典型图像，其中0.7 µm的结构被清晰地分辨出来。垂直和水平结构均以高对比度被同时清晰分辨。

注：要实现如此高的分辨率，还需要对整个成像链进行优化，例如选择合适的光学放大倍率和探测器特性。这是集成商的责任。

每种聚焦模式的最大功率密度也有所提高。这意味着在提升分辨率的同时，功率并未受到任何影响。因此，可以在与之前相同的成像速度下分辨出更精细的细节。  

在高功率模式下，目标功率最高可达15 W，分辨率可达2.8 µm。在微焦点 模式下，目标功率最高可达10 W，分辨率可达1.8 µm。最后，在纳米焦点 模式下，使用高功率靶时，目标功率最高可达1.6 W，可实现的最高分辨率为0.7 µm。

“每种聚焦模式的最大功率密度也有所提高。这意味着在提升分辨率的同时，功率方面并未做出任何妥协。”

克里斯托弗·尼科尔森，产品经理

可靠的稳定性

要充分发挥FXE 160 Nano CT更高的分辨率性能，最佳方案是配合使用外部冷却选项，该选项可提供出色的焦斑稳定性。高度稳定的焦斑对于长期成像测量至关重要，特别是在极高分辨率下，或利用3D断层成像生成详细重建图像时。冷却功能还能使电子管在长时间连续运行时不会过热。

为了突出外部冷却对成像性能的益处，我们测量了X射线焦斑位置随时间的变化。我们使用FXE 160 nano和FXE 160 nano CT模块，在微焦点 模式下对测量结果进行了比较。从图3a中可以立即看出，带冷却和不带冷却的X射线管之间存在明显差异。 

这些圆的直径代表了相应时间点上焦斑漂移的空间范围，不同颜色表示不同的时间点。

冷却管可显著减少光斑漂移，在经历30分钟的训管 后，1小时内的总漂移量仅为2 µm。相比之下，未冷却管在同一时间段内的漂移值为18 µm。

X射线光斑位置稳定性提高所带来的优势，在图3b和3c所示的测试图像中显而易见。通过采用冷却措施，由于焦斑位移减小，因此能够分辨出更小的细节（紫色箭头所指）。即使对于10 µm的大尺寸细节（红色矩形所指），其对比度也显著提高。

FXE-160 Nano CT 现已具备 0.7 µm 的更高分辨率、更高的功率密度以及更优的焦斑稳定性。